关于质量流量计仪器仪表技术标准说明

目录中质量流量计的技术标准的说明，基本上符合SEMI标准。 以下说明代表性的规格产品。

（1）精度

精度表示形式是“满刻度的± ％ ” 。 这个数值是相对于基准流量计，使用标准校准气体N2时的误差值。因此，当精度是± 1 ％ ，满刻度50 SCCM，流速将保证，“不确定性”50 ×（1/100）=±0.5 sccm，作为我们的标准流速。

（2）可重复性

“满刻度± ％ ”的形式和精确性相同。此值表示在同的环境条件下设定得到的流量，与我们公司标准流量计测量所得值的偏差。 环境条件不同，偏差值各有不同。

( 3 ) 应答性

0流量开始控制，质量流量计保证精度98%。渐近线时，很困难的，所以通常采用这种记录表示。

注意：流量计表示值是氮气（或空气）作为介质情况下精度值。因此，当各种气体和压力条件不同，即使流量相同，也可能因为介质问题产生的读数不同，请先与我们联系。