日本堀场HORIBA质量流量控制

堀场质量流量控制器（Horiba Mass Flow Controller）是由日本堀场仪器（Horiba Instruments）公司设计和生产的一种流量控制设备。该设备广泛应用于气体流量的测量和控制领域。

堀场质量流量控制器的工作原理基于热物性原理（Thermal Property Principle）。它利用热敏传感器测量气体流过的质量和温度，并根据预设的流量设定值自动调节控制阀来实现流量控制。该技术具有精度、稳定性和快速响应的特点。

堀场质量流量控制器具有以下特点和应用优势：

精度：堀场质量流量控制器能够在较宽的流量范围内提供精度的流量控制，通常可达到0.5%的精度。

快速响应：该设备具有快速的响应时间（通常在几毫秒级别），能够迅速调整流量以适应变化的需求。

宽流量范围：堀场质量流量控制器可覆盖从微量流量到大流量的范围，满足不同应用场景的需求。

多种气体适应性：它可以适应各种常见气体的流量控制，包括惰性气体、腐蚀性气体和精度要求的气体。

可编程控制：堀场质量流量控制器具有多种接口和通信协议，可以与计算机或自动化系统进行集成控制。

堀场质量流量控制器在半导体制造、光伏产业、化学工程、环境监测和科学研究等领域得到广泛应用。它为这些领域的工程师和研究人员提供了一种可靠、精确的流量控制解决方案。

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