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HORIBA MV-2000 系列混合注入系统液体汽化器

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HORIBA IR-400 用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪

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HORIBA IR-300 蒸汽浓度监测仪

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HORIBA GR-511F 晶圆背面冷却系统

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HORIBA GR-300 系列 晶圆背面冷却系统

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HORIBA QL系列微孔系统

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MCMillan麦克米兰 质量流量计系列

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OMEGA奥米佳 FMA-4100／4300系列可编程气体质量流量计和累加器 适用于洁净气体

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OMEGA奥米佳 FMA3100系列经济型气体质量流量控制器和流量计 适用于洁净气体

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OMEGA奥米佳 FMA-A2000系列气体质量流量计和控制器 可选配一体式显示屏，用于测量洁净气体

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HORIBA堀场压力不敏感型数字式质量流量控制器SEC-Z700X

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HORIBA堀场电容压力计VG200

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OMEGA奥米佳 FMA-1600A质量和体积流量计

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HORIBA堀场高温数字质量流量控制器 SEC-8000F/D系列

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