日本HORIBA堀场数字式液体质量流量计LF/LV的基本参数

2024-09-19 08:00

随着半导体器件快速一体化的发展，半导体生产过程中的液体流量需求不断增大，新的材料也被引入300nm晶圆制程以确保产品性能。在此背景下，HORIBA STEC 作为该领域的佼佼者，提供了一整套液体源汽化控制系统，通过加热、直接注入和混合注入等多种方式，确保将气体平稳有效地传送到反应室。自动供液系统能不间断地安全可靠地传输液体，从而提高工作效率，同时有效降低了操作员的手动操作和制程污染风险。

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一、日本HORIBA堀场数字式液体质量流量计LF/LV的基本参数

HORIBA的数字式液体质量流量计LF-F和LV-F在这一领域中表现出色。LF-F是一款具备冷却测试方式的液体质量流量计，能够精确检测低沸点和高粘度液体的流量。其仪器内部进行了超洁净处理，并符合RoHS环境标准，确保了超低微小流量检测的准确性。LF-F的抗压性高达10MPa，这使其在高压环境下依然能够稳定运行，体现出其卓越的性能。

另一方面，LV-F是一款具备冷却测试方式的流量传感器，能够精确控制低沸点和高粘度液体的流量。与LF-F类似，LV-F也进行了超洁净处理并符合RoHS环境标准，确保其在操作过程中不会产生污染。LV-F的抗压性为1MPa，虽然不及LF-F，但在一般的半导体生产环境中已足够应对。LV-F提供超低微小流量控制，使得其在精细的流量调节需求下表现尤为突出。

这两款流量计和传感器的设计理念与半导体生产的严苛要求相契合，能够在保证高精度和高稳定性的同时，减少人为操作的误差和污染风险。HORIBA堀场在液体质量流量计领域的创新，不仅提高了生产效率，还推动了半导体行业的技术进步。这些先进的仪器设备，通过细致入微的设计和高标准的制造工艺，确保了在严苛的生产条件下，依然能够保持稳定和可靠的运行。通过应用这些高性能的流量计，半导体生产商能够更好地控制生产过程，提高产品质量，从而在竞争激烈的市场中占据有利地位。

二、上海进佳科学仪器有限公司介绍

上海进佳科学仪器有限公司位于上海浦东，为电子半导体、光纤及生物制药等科技行业提供流量控制和过程连接的专业解决方案。依托专业技术和优质服务，本公司在行业中获得了良好声誉和广泛认可。公司与国际原厂供应商建立了长期的战略合作伙伴关系。

多家仪器仪表制造商已授予我们官方代理经销商的资格。代理品牌包括DWYER德威尔、HORIBA堀场、KING、FilterSense费尔升、Galltec+mela盖加美、Valex威莱克、OMEGA奥米佳、degreeC、HONTZSCH虹启、TKF富士金、YAMATO雅马拓、Superlok等。我们的产品范围包括质量流量计、卡套接头、阀门、风速计、灭菌器、干燥箱、恒温水槽及其他实验室设备。凭借丰富的行业经验和完善的产品线，满足客户在不同应用场景下的多样化需求，并为其研发生产提供坚实的后盾。

进佳科学仪器坚守“专业、创新、服务”的经营理念，不断追求技术进步和服务提升，提供高品质产品和全面解决方案，助力客户提高生产和研发的效率与可靠性。我们期待与更多的行业伙伴携手合作，共创美好未来。

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