日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100的基本参数
作为一款针对非芯片半导体制程开发的产品,日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100在市场上具有重要地位。这款流量控制器不仅能够满足不同制程规范的要求,还具备多种先进的技术特性,因而成为了众多客户的优选。
一、日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100的基本参数
SEC-N100质量流量控制器的通信方式灵活多样,支持数字式和模拟式通信。其中,数字式通信包括RS-485、DeviceNet和Profibus,而模拟式通信则可以选择电流或电压模式。这种多样化的通信方式使得SEC-N100能够与其他系列产品兼容,极大地方便了用户的使用和集成。
在气体和量程管理方面,SEC-N100也展现了其卓越的灵活性。它能够方便地在客户端更改对应的气体和量程,满足不同应用场景的需求。这一特性不仅提高了产品的适应性,还为用户节省了重新配置和调整的时间和成本。
该产品的高精度控制性能同样值得一提。SEC-N100选用了与SEC-Z500系列相同的传感器和旁路装置,能够实现±1.0%的设定流量精度。此外,快速响应时间也是其重要特性之一,在可控流量范围内,响应时间不超过1秒,并内置PID参数,可以根据需要调整响应时间。这使得SEC-N100在高要求的工业环境中,依然能够保持稳定和高效的性能。
气阀种类方面,SEC-N100提供了电磁阀和压电陶瓷阀两种选择,分别适用于不同的流量需求。具体来说,电磁阀适用于流量在50SLM以内的场景,而压电陶瓷阀则适用于100SLM和200SLM的场景。此外,产品的密封圈材质可以选择橡胶或金属,进一步增强了其适应性和可靠性。
在气路表面处理和接口选择上,SEC-N100同样表现出色。虽然气路表面未经抛光处理,但这并不影响其性能。唯一的VCR接口设计也确保了其安装和连接的简便性。值得一提的是,SEC-N100满足RoHS要求,这意味着它在生产过程中严格控制有害物质的使用,符合环保标准。
综上所述,日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100凭借其多样的通信方式、灵活的气体和量程管理、高精度控制及快速响应等特性,成为非芯片半导体制程领域的理想选择。它不仅具备稳定的性能,还能满足用户多样化的需求,为工业流程的高效运作提供了可靠保障。
二、上海进佳科学仪器有限公司介绍
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三、上海进佳科学仪器有限公司优势
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