400-092-5117
HORIBA IR-400 用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪 简介
产品参数
产品品牌
HORIBA堀场
产品类型
质量流量计/控制器
可售卖地
面议
价格区间
面议
供货总量
面议
售后服务
完善
产品简介
IR-400 可在沉积过程中实时监测腔室清洗终点。通过优化清洗过程，IR-400 减少了清洗时间和气体用量。清洗气体用量减少会降低对腔室的损害，并增加所有系统部件的寿命。
多气体监测（支持 SiF4 和 CF4） (IR-422)
高灵敏度
气室加热功能最高可达 180℃
多重显示
模拟/数字通信
HORIBA IR-400 用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪 详情介绍
功能/特点：
IR-400 实时终点监测的优势
减少腔室清洗时间
减少清洗气体使用量
可重复和可预测的清洗过程
延长腔室组件寿命
HORIBA IR-400 用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪产品规格
关于进佳仪器
上海进佳科学仪器有限公司，拥有多个国外仪表行业品牌的授权代理证，旗下每一个品牌均历经市场的考验。公司团队拥有丰富的从业经验以及扎实的专业知识，对各个品牌的产品优势和市场定位有深入了解。公司始终秉持以客户为中心的理念，致力于为客户提供全方位、个性化的服务解决方案。公司代理品牌
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