金属垫片面密封接头在半导体行业的应用

金属垫片面密封接头在半导体行业的应用介绍

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在半导体行业使用的纯流体系统中，接头的选择是关键点之一，常见的选择是焊接接头，但焊接接头不适用于那些需要定期更换或维护的连接，而采用非金属材料的 O 形圈密封接头则可能面临和介质不兼容的问题。有没有一种接头即方便安装和拆卸，又能和介质兼容，还能保证可靠的密封呢? 答案是金属垫片面密封接头。这种接头的密封元件采用金属垫片，其主要优点如下：

金属对金属硬密封，密封性好：拧紧螺母时，两端的接管会从两个方向挤压金属垫片，由于接管密封面的硬度>金属垫片（飞托克的316L不锈钢材质的接管密封面比同种材质的垫片硬度109HV，比镍材质垫片硬度158HV），因此金属垫片会产生轻微的变形，接管和金属垫片之间形成紧密的面密封以保证密封性能，飞托克产品在使用316L不锈钢材质镀银垫片、镍材质镀银垫片和铜垫片时氦气泄漏率 4x10^-9 std cm³/s，使用316L不锈钢材质和镍材质电解抛光垫片时氦气泄率 4x10^-11 std cm³/s；

可重复拆装使用：挤压金属垫片不会损伤接管密封面，因此可以重复拆装使用，仅需每次更换密封垫片，维护成本低；

无死区，不易残留，易吹扫：金属垫片面密封接头的结构使得密封元件能被气体完全吹扫，因而消除了残留导致的污染风险；

安装和拆卸方便：这种接头安装和拆卸简单，只需要常规工具即可完成，可以大幅提高安装和维护的效率。