关于流量单位

质量流量计测量的质量流量，不受压力和温度的影响。当通过流量表示质量，必要的使用单位，如g/min和kg/min， 不同于一般流体测量单位。一般情况，通过基准压力和温度等决定条件来表示体积流量。目前，Pa•m3/s，与SI单位一致，一般使用单位SCCM和SLM，作为主流仍在使用。

SCCM是标准立方厘米每分钟单位的缩写，在0°C时、1个大气压下是cc/min。而SLM是标准升每分钟的缩写，相同的条件下显示L/min。其他流量单位，目前如果为经认证的计量单位，可用于我们产品的校准和生产。在一些半导体产业以外的行业， SCCM和SLM被定义为单位在20°C和1个大气压力下，在0°C和1个大气压下单位为NCCM和NLM。关于HORIBA质量流量仪表的流量显示，标准温度和压力的单位为SCCM（ 0°C，1 atm时）和NLM（0°C，1 atm时）。