日本HORIBA堀场质量流量计SEC-Z500(SEC-Z537MGX)批发价格_采购报价_参数型号

日本HORIBA堀场质量流量计SEC-Z500 简介

产品参数

产品品牌

HORIBA堀场

产品类型

质量流量计/控制器

可售卖地

面议

价格区间

面议

供货总量

面议

售后服务

完善

产品简介

目前的SEC-Z500X 系列产品主要使用于半导体制程, 而SEC-N100 作为它的重要补充，主要针对非芯片半导体制程而开发。同半导体制程一样，非芯片半导体工艺也已经形成相对统一的制造标准， SEC-N100 系列产品能够满足广大客户对不同制程规范的要求。

日本HORIBA堀场质量流量计SEC-Z500(SEC-Z537MGX) 介绍

型号：SEC-Z537MGX
精度：±1.0% S.P.(Flow rate>35%F.S.) ±0.35% F.S.(Flow rate≤35%F.S.)
量程：100SLM
电源：电源24VDC
输出：EtherCAT

日本HORIBA堀场质量流量计SEC-Z500 详情介绍

HORIBA堀场质量流量计SEC-Z500减少实际流量和理论差异

HORIBA堀场质量流量计SEC-Z500，Sensor
1.使用温度补偿回路传感器(减少摩尔比热影响)
2.多项方程来纠正流量
3.收集流量输出特性数据库(N2和实际气体)
4.更新sensor 数据 by Data Server
HORIBA堀场质量流量计SEC-Z500，Bypass
1.提高加工精度
2.安装不同流量的BP配合sensor (Fixed flow ratio every Bin number
HORIBA堀场质量流量计SEC-Z500，Flow path
1.内部表面抛光，减少流量差异
2.采用PIEZO阀，结构简单，没有热量产生。
HORIBA堀场质量流量计SEC-Z500，PCB
1.数字式调整
2.更少电位器。减少改变机械雾部件可能造成的损伤。(Cancel of backrush)
Calibration tool
1.采用 MolBlock 调流量